利用数字源表进行Mini LED光电特性测试
实施Mini LED光电特性参数分析的最佳工具之一是数字源表(SMU)。数字源表作为**的恒压源或恒流源,输出恒压或恒流、还可以当作表,进行电压或者电流测量;支持Trig触发,可实现与光谱仪,探针台,分选机等第三方设备联动工作。
目前,光电性能检测是通过Mini LED点测机实现的,用于测量晶圆上每一颗芯片。点测机的主要结构单元包括探针台,电性能测试单元,光性能测试单元,以及上位机控制系统等。
该工序根据实际情况,位于晶圆划片前,或者后工序。设备基本构成主要包括探针台,电子显微镜,SMU,ESD,工控机,积分球,光谱仪等。其中,SMU的作用是对芯片进行IV特性测试,同时在光学测试中,对芯片进行供电。
常用的电性能测试项目包括,V
F1,V
F2,I
R,V
Z,V
FD,D
VF等。
⑴ V
F(正向电压)测试, FIMV: 一般会测两个点, 第一个点V
F1为 LED刚点亮时电压, 第二个点V
F2为LED 正常工作时的电压;
⑵ V
Z(反向击穿电压)测试, FIMV:一定反向电流时,器件两端的电压;
⑶ I
R(反向泄露电流)测试, FVMI: 一定反向电压时, 流过器件的电流;
⑸ D
VF 测试,材料热缩效应测试, FIMV: 对LED施加两次不同的电流,并计算不同条件下的电压差;
⑹ V
FD 测试,正向电压暂态峰值电压测试, FIMV: 对LED施加一定的正向电流,同时采集电压变化, 尖峰电压与正常电压的差值即为V
FD;